S-TRC Series

반사 / 투과 / 컬러 / 박막 두께 측정 시스템

(주)원우시스템즈

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제품 개요

S-TRC 시리즈는 사용자의 다양한 측정 요구에 대하여 필요한 기능을 복합적으로 구현이 가능하고, 다양한 옵션에 따라 멀티 측정이 가능한 기기로서, 다음과 같은 기능을 포함하고 있습니다:

• 분광분석 측정
• 박막두께 측정
• 투과율 및 반사율 측정
• 컬러 측정

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핵심 특징

멀티 채널 / 멀티 측정 모드

• Simple 셋업 & Easy 측정으로 사용 편의성 극대화
• 옵션에 따라 측정 포인트 당 투과, 컬러 및 박막두께 동시 측정

다양한 n,k 데이터베이스 및 n,k 모델 지원

• 투과/반사에 의한 다층막 두께 측정 가능
• Cauchy, Sellmeier 방식 및 n,k 추출 기능 제공

In-line 환경 가능

• 생산 라인에 직접 적용 가능한 산업용 설계
• 외부 트리거 기능으로 공정 동기화 지원

합리적인 가격 & 저렴한 유지비용

• USB 2.0 / Ethernet 통신 지원으로 확장성 제공

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주요 기능

멀티 측정 모드

• 옵션에 따라 측정 포인트 당 투과, 컬러 및 박막두께 동시 측정
• 한 번의 측정으로 다양한 광학 특성 동시 분석

멀티 포인트 측정 모드

• 옵션에 따라 측정 포인트에 대한 반사, 투과, 컬러 및 박막두께 측정 가능
• 측정 포인트 별 균일성 분석 제공
• 다채널 분광기를 통한 동시 다점 측정

측정 결과 레포트 기능

• 전문적인 측정 데이터 분석 및 리포트 자동 생성
• 시간에 따른 결과 변화 모니터링 및 분석

인라인 공정을 위한 부가 기능

• 실시간 공정 모니터링 지원
• 생산 라인 통합을 위한 다양한 인터페이스 제공

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측정 기능 상세

투과 및 반사율 측정

• 측정 모드(반사/투과)별 비교 분석
• 시간에 따른 결과 변화 모니터링 및 분석
• 고정밀 광학 특성 측정

컬러 측정

• 반사에 의한 컬러 측정 및 CIE 1931 Chromaticity 다이어그램 표시
• 다양한 Observer / Illuminant 옵션
  • 2/10-degree, A, B, C, D50~~75, E, F1~~F12 지원
• 정확한 색상 분석 및 품질 관리

박막 두께 측정

• 간편한 설정으로 빠른 시간에 최적의 두께 측정 가능
• 반사/투과에 의한 다층막 두께 측정 가능
• 다양한 물질에 대한 n, k 데이터 제공 및 추가 가능
• n, k 모델지원 (Cauchy, Sellmeier 방식) 및 n, k 추출 기능
• 옵션에따라 멀티 포인트 동시 두께 측정 가능 (다채널 분광기)

전동 X-Y 스테이지를 사용한 2D 프로파일링 (옵션)

• 웨이퍼 두께 및 반사/투과율 2D 프로파일링 가능
• 대면적 샘플의 균일도 맵핑 및 분석

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응용 분야

반도체 산업

• 반도체 웨이퍼 공정에서의 박막 두께 측정
• 섬유산업의 다양한 oxides, nitrides, PR 및 Poly-Si의 반사/컬러/두께측정
• 웨이퍼 표면 특성 분석 및 공정 모니터링

디스플레이 산업

• LCD Display 패널의 광 특성 및 두께 측정
• ITO thin film의 특성 연구를 장비 (T, R, thickness)
• 터치스크린 및 OLED 패널 품질 검사

태양전지 산업

• 솔라셀 소다라임글라스의 ITO 박막 두께 측정
• 태양전지 모듈의 투과율 및 반사율 특성 분석
• 효율 최적화를 위한 광학 특성 측정

코팅 및 필름 산업

• 다양한 광학 코팅 공정에서의 박막 두께 측정
• 유리/필름/필터 등의 투과율 및 반사율 측정
• 도장 컬러 분석 및 균일도 측정

광학 부품 산업

• CRT, PR film, Shadow Masks, Laser mirror 등의 두께측정
• 정밀 광학 부품의 특성 분석
• 품질 관리 및 성능 최적화

연구 및 분석

• 피부조직의 반사율, 투과율을 통시 측정 (의료 연구용)
• Granules의 반사 및 컬러 측정
• 생물학적 TRC 측정