CORALIS

CORALIS 제품특징

LTB CORALIS는 단일 샘플의 동일 지점에서 원소 정보(LIBS)와 분자 구조(Raman)를 동시 획득할 수 있는 하이엔드 광학 플랫폼입니다. 현미경 기반의 정밀 광학계가 통합되어 있으며, 두 개의 독립적인 레이저 소스를 하나의 광학 경로로 일치시키는 고난도 동축 설계가 핵심입니다. 미세 이물질의 원소 성분과 화학 결합 상태를 한 번에 규명할 수 있습니다.

• 동축 광학 시스템 (Co-axial): LIBS와 Raman 레이저의 광축을 정확히 일치시키는 정밀 빔 컴바이너 탑재
• 현미경 대물렌즈 통합: 고배율 대물렌즈를 통해 마이크로 단위의 미세 지점 타겟팅 및 집광 효율 극대화
• 듀얼 레이저 입력 포트: 532nm(Raman) 및 1064nm(LIBS) 등 서로 다른 파장의 외부 레이저 인터페이스 지원
• 전동식 다이크로익 필터 휠: 측정 모드에 따라 광학 필터를 자동으로 전환하는 전동 휠 시스템
• 고해상도 에쉘 분광 엔진: 광대역 동시 측정이 가능한 ARYELLE 분광기를 검출기로 사용

CORALIS 어플리케이션

• 반도체 패키징 불량 분석
• 미세 이물질 식별
• 박막 레이어 성분 분석

▶ 제품 사양 (Hardware & Software)

구분	항목	세부 사양
Measuring technique	LIBS	Qualitative and quantitative multi-elemental analysis
	RAMAN spectroscopy	Analysis of molecule structures by the detection and interpretation of scattered light
	Imaging	Particle counting, size distribution, etc.
LIBS	Laser	1064nm (up to 50 mJ pulse energy)
	Wavelength range	190 nm – 520 nm
	Resolution	13 pm – 35 pm
RAMAN	Laser	532 nm and 785 nm (up to 50 mW)
	Wavelength range	530 nm – 950 nm (up to 6000 cm⁻¹)
	Resolution	532nm: 2.5 – 2.0 cm⁻¹ / 785nm: 1.7 – 1.4 cm⁻¹
XYZ-stage	Travel range	X = 50 mm, Y = 50 mm, Z = 35 mm
	Resolution	1 µm
	Repeatability	1 µm
Sample Imaging	Camera	CMOS camera-based (6 Mpixel)
	Overview image	Image field (28 x 19) mm
	Detail image	Image field (3.5 x 2.5) mm
General	Dimensions	1200 mm x 750 mm x 750 mm
	Weight	225 kg
	Safety	Laser class 1
Software	Fusion RL	Single/average spectra recording, Sample mapping, Depth scans, Particle identification
	Analysis	Univariate/Multivariate analysis, Material identification, Database, Wiley KnowItAll® compatibility
Accessories	Standard samples	Certified standard samples for size calibration and LIBS/Raman reference